顯微鏡光學(xué)系統(tǒng)的設(shè)計很多人第一次上手Zemax時都會犯一個同樣的錯誤把物鏡和目鏡分開設(shè)計各自優(yōu)化到接近衍射極限然后直接拼在一起結(jié)果發(fā)現(xiàn)整體像質(zhì)一塌糊涂。這不是軟件的問題而是對光學(xué)系統(tǒng)整體性理解不夠。顯微鏡作為一個完整的成像鏈路物鏡的殘余像差會被目鏡放大目鏡的場曲又會和物鏡的場曲疊加中間像面的位置和數(shù)值孔徑的匹配更是直接決定了最終能否得到平坦、清晰的視場。這篇文章就從實際設(shè)計的角度把從物鏡到目鏡的完整優(yōu)化流程拆開講清楚包括初始結(jié)構(gòu)怎么選、評價函數(shù)怎么建、中間像面怎么處理、優(yōu)化變量怎么放、遇到不收斂怎么辦。不管你是剛接觸Zemax的光學(xué)專業(yè)學(xué)生還是需要快速出方案的工程師這些內(nèi)容都能直接拿去用。1. 顯微鏡系統(tǒng)設(shè)計的整體邏輯與常見誤區(qū)1.1 為什么不能把物鏡和目鏡分開優(yōu)化顯微鏡的光學(xué)系統(tǒng)本質(zhì)上是一個兩次成像的過程。物鏡先把物體成像在中間像面也就是目鏡的前焦面附近目鏡再把中間像面上的像放大到人眼或者探測器上。這個結(jié)構(gòu)決定了物鏡和目鏡之間存在強耦合關(guān)系。我見過太多人這樣做先單獨設(shè)計一個物鏡優(yōu)化到MTF接近衍射極限然后保存再單獨設(shè)計一個目鏡也優(yōu)化到很好的狀態(tài)最后把兩個文件拼在一起發(fā)現(xiàn)整個系統(tǒng)的波前誤差突然變得很大。原因其實不復(fù)雜——物鏡在單獨優(yōu)化時出射光束的像差狀態(tài)是“自由”的Zemax會把它優(yōu)化到一個對物鏡自身最有利的狀態(tài)但這個狀態(tài)未必是目鏡“喜歡”的輸入。反過來目鏡單獨設(shè)計時假設(shè)的入射光束特性和實際物鏡出射的光束特性也可能不一致。更具體地說物鏡的出瞳位置、出瞳大小、殘余場曲、殘余畸變這些參數(shù)在單獨優(yōu)化時都沒有被約束到目鏡需要的值。一旦拼接這些不匹配就會集中爆發(fā)。所以正確的做法是從一開始就建立包含物鏡和目鏡的完整系統(tǒng)模型讓優(yōu)化算法同時考慮兩部分的相互影響。1.2 中間像面的處理策略中間像面是顯微鏡系統(tǒng)里最特殊也最容易出問題的地方。它既是物鏡的像面又是目鏡的物面。在實際系統(tǒng)中中間像面通常位于目鏡的前焦面附近但并不是嚴(yán)格重合——這個偏差量直接影響目鏡的出射光束是平行光還是發(fā)散/會聚光。在Zemax中處理中間像面有兩種常見做法。第一種是把它設(shè)為一個實際的面賦予它一定的厚度和材料通常是空氣然后在評價函數(shù)中對這個面的成像質(zhì)量進行約束。第二種是使用近軸面或者理想透鏡來替代目鏡先優(yōu)化物鏡再逐步替換為實際目鏡。兩種方法各有適用場景但如果你想一次性得到可用的結(jié)果建議直接用第一種。中間像面的位置需要作為一個優(yōu)化變量來對待而不是固定值。因為物鏡的場曲會導(dǎo)致不同視場的中間像面位置不同如果把它固定死邊緣視場的成像質(zhì)量會急劇下降。實際操作中我會把中間像面的厚度設(shè)為變量同時用FCUR或者FCGT操作數(shù)來控制場曲。1.3 數(shù)值孔徑與分辨率的匹配關(guān)系顯微鏡的數(shù)值孔徑NA直接決定了分辨率。根據(jù)瑞利判據(jù)分辨率約為0.61λ/NA。物鏡的NA通常由設(shè)計指標(biāo)給定比如NA0.25、NA0.65等。但目鏡這邊有一個容易被忽略的參數(shù)目鏡的焦距決定了整個系統(tǒng)的放大倍率而目鏡的入瞳直徑需要和物鏡的出瞳匹配。如果物鏡的出瞳直徑是D目鏡的入瞳直徑也應(yīng)該是D或者按比例縮放。如果兩者不匹配會出現(xiàn)漸暈或者有效NA下降的問題。在Zemax中可以通過RANG或者ENPD操作數(shù)來讀取和約束出瞳/入瞳參數(shù)。我的習(xí)慣是在評價函數(shù)里加一行ENPD約束確保目鏡的入瞳直徑和物鏡出瞳一致。2. 物鏡設(shè)計的核心步驟與像差控制2.1 初始結(jié)構(gòu)的選擇與縮放物鏡的初始結(jié)構(gòu)選擇決定了后續(xù)優(yōu)化的難易程度。對于低倍率物鏡比如4X、10X可以采用簡單的雙膠合或者李斯特結(jié)構(gòu)對于高倍率物鏡比如40X、100X通常需要復(fù)雜的多組結(jié)構(gòu)甚至需要浸液。在Zemax中最實用的起步方式是從專利庫或者鏡頭庫中找一個參數(shù)接近的結(jié)構(gòu)然后用縮放功能調(diào)整焦距和NA?？s放時要注意不能只縮放焦距還要同時縮放孔徑和厚度。Zemax的Scale Lens功能可以做到這一點但縮放后需要檢查各個面的曲率半徑是否還在可加工范圍內(nèi)。我通常的做法是先確定物鏡的焦距和NA然后找一個焦距相近、NA略大的專利結(jié)構(gòu)縮放后作為起點?？s放完成后第一件事是檢查邊緣光線是否正常通過各個面有沒有出現(xiàn)光線追跡失敗的情況。如果出現(xiàn)說明某些面的曲率或者厚度需要手動調(diào)整。2.2 評價函數(shù)的構(gòu)建思路物鏡的評價函數(shù)需要覆蓋幾個核心指標(biāo)軸上視場的波前誤差、軸外視場的場曲和像散、色差、以及球差。在Zemax中我通常用默認評價函數(shù)RMS波前作為基礎(chǔ)然后手動添加以下操作數(shù)SPHA控制球差對于高NA物鏡尤其重要FCUR控制場曲確保中間像面的平坦度LACL或AXCL控制軸向色差DIMX控制畸變MTFA或MTFT控制MTF在特定空間頻率下的值評價函數(shù)的權(quán)重設(shè)置需要根據(jù)設(shè)計指標(biāo)來調(diào)整。如果分辨率是首要指標(biāo)波前誤差和MTF的權(quán)重應(yīng)該高一些如果更關(guān)注視場平坦度場曲的權(quán)重就要加大。我的經(jīng)驗是先用默認評價函數(shù)跑一輪優(yōu)化看看哪些像差是主要矛盾然后針對性地加操作數(shù)和調(diào)權(quán)重。2.3 優(yōu)化變量的釋放順序很多人一上來就把所有面的曲率、厚度、材料都設(shè)為變量然后點優(yōu)化結(jié)果要么不收斂要么得到一個奇形怪狀的結(jié)構(gòu)。正確的做法是分階段釋放變量。第一階段只釋放曲率半徑厚度和材料固定。這一步先把球差和軸上視場的像質(zhì)優(yōu)化好。第二階段釋放厚度包括空氣間隔和透鏡厚度。這一步主要改善場曲和像散。第三階段釋放材料如果用的是模型玻璃或者可變材料。這一步用來校正色差。第四階段如果結(jié)構(gòu)允許釋放非球面系數(shù)或者增加透鏡。每個階段優(yōu)化完成后都要檢查結(jié)構(gòu)是否合理——透鏡邊緣厚度是否過薄、空氣間隔是否過小、光線是否發(fā)生全反射。這些問題如果不及時處理后面會越來越難改。2.4 高NA物鏡的浸液處理當(dāng)NA超過0.95時空氣中已經(jīng)無法實現(xiàn)必須使用浸液。在Zemax中浸液的處理方式是在物面和第一個透鏡面之間插入一個浸液層材料設(shè)為水或者油折射率約1.33或1.515。浸液層的厚度需要仔細控制通常在幾十微米到幾百微米之間。太厚會導(dǎo)致浸液層的像差貢獻增大太薄則在實際裝配中難以實現(xiàn)。我一般會把它設(shè)為0.1mm左右然后作為一個變量參與優(yōu)化。需要注意的是浸液物鏡的NA計算方式和非浸液不同。NA n × sin(θ)其中n是浸液的折射率。所以在設(shè)置孔徑時要用浸液的折射率來計算邊緣光線角度。3. 目鏡設(shè)計的特殊性與像差平衡3.1 目鏡的視場與出瞳距離目鏡的設(shè)計和物鏡有很大不同。目鏡的視場通常很大比如40度到60度而出瞳距離eye relief需要滿足人眼觀察的舒適性一般在15mm到20mm之間。這兩個要求往往是矛盾的——大視場和大出瞳距離意味著目鏡的口徑會很大像差校正難度急劇增加。在Zemax中設(shè)計目鏡時入瞳位置需要設(shè)置在物鏡出瞳的位置。如果物鏡的出瞳在物鏡內(nèi)部目鏡的入瞳就是一個虛瞳這在Zemax中可以通過設(shè)置入瞳位置為負值來實現(xiàn)。實際操作中我會先用RANG操作數(shù)讀取物鏡的出瞳位置然后把這個值填入目鏡的入瞳位置。目鏡的結(jié)構(gòu)選擇也很關(guān)鍵。常見的目鏡類型包括惠更斯目鏡、冉斯登目鏡、凱爾納目鏡、普羅素目鏡等?；莞购腿剿沟墙Y(jié)構(gòu)簡單但像差校正能力有限適合低端應(yīng)用凱爾納和普羅素結(jié)構(gòu)復(fù)雜一些但視場平坦度和色差校正明顯更好。如果設(shè)計指標(biāo)要求視場大于50度建議直接用普羅素或者更復(fù)雜的結(jié)構(gòu)。3.2 目鏡的場曲與物鏡的匹配目鏡的場曲是顯微鏡系統(tǒng)中最難處理的像差之一。因為目鏡的視場大場曲的絕對值往往比物鏡還大。如果物鏡和目鏡的場曲不匹配整個系統(tǒng)的中間像面就會彎曲導(dǎo)致邊緣視場模糊。匹配場曲的方法有兩種。第一種是在優(yōu)化時把物鏡和目鏡放在同一個系統(tǒng)中用FCUR操作數(shù)同時約束兩者的場曲讓優(yōu)化算法自動找到平衡點。第二種是人為地在物鏡和目鏡之間加入場鏡field lens場鏡可以改變光束的走向從而調(diào)整場曲的分布。我通常優(yōu)先用第一種方法因為它不需要額外的元件。但如果場曲實在太大加一片場鏡是最直接的解決方案。場鏡的位置一般在中間像面附近材料選擇和物鏡最后一片透鏡相近即可。3.3 目鏡的出瞳與人眼匹配目鏡的出瞳就是人眼瞳孔的位置。出瞳距離太短人眼睫毛會碰到目鏡出瞳距離太長觀察時容易有雜散光進入。15mm到20mm是比較舒適的范圍。在Zemax中出瞳位置可以通過RANG操作數(shù)讀取或者直接在分析功能中查看。如果出瞳距離不滿足要求可以通過調(diào)整目鏡最后一片透鏡到出瞳的距離來改變。但要注意改變這個距離會影響整個目鏡的像差平衡所以需要重新優(yōu)化。另外出瞳直徑也需要和物鏡匹配。如果物鏡的出瞳直徑是2mm目鏡的出瞳直徑也應(yīng)該是2mm左右。如果目鏡出瞳太大人眼瞳孔無法全部接收相當(dāng)于浪費了數(shù)值孔徑如果太小則會出現(xiàn)漸暈。4. 完整系統(tǒng)的聯(lián)合優(yōu)化與像質(zhì)評價4.1 聯(lián)合優(yōu)化的操作流程當(dāng)物鏡和目鏡分別優(yōu)化到一定程度后就可以進行聯(lián)合優(yōu)化了。聯(lián)合優(yōu)化的目標(biāo)不是讓某一部分達到最優(yōu)而是讓整個系統(tǒng)的綜合像質(zhì)達到最優(yōu)。具體操作步驟把物鏡和目鏡的Zemax文件合并到一個文件中中間像面作為連接面。重新設(shè)置孔徑類型為物方NA或者入瞳直徑確保和實際使用條件一致。重建評價函數(shù)加入整個系統(tǒng)的MTF、波前誤差、場曲、畸變等指標(biāo)。先固定物鏡和目鏡的結(jié)構(gòu)參數(shù)只優(yōu)化中間像面的位置和目鏡的入瞳距離。然后逐步釋放物鏡和目鏡的曲率、厚度變量進行聯(lián)合優(yōu)化。最后檢查各個面的光線追跡情況確保沒有異常。聯(lián)合優(yōu)化時評價函數(shù)的權(quán)重需要重新調(diào)整。因為整個系統(tǒng)的像差是物鏡和目鏡像差的疊加某些在單獨優(yōu)化時被壓得很低的像差在聯(lián)合系統(tǒng)中可能會重新變大。這時候需要耐心地調(diào)整權(quán)重讓優(yōu)化算法找到全局最優(yōu)解。4.2 MTF與波前誤差的評價標(biāo)準(zhǔn)顯微鏡系統(tǒng)的像質(zhì)評價最直觀的指標(biāo)是MTF。對于目視顯微鏡通常要求軸上視場的MTF在30線對/mm處大于0.3邊緣視場大于0.2。對于攝影顯微鏡要求會更高一些。波前誤差是另一個重要指標(biāo)。瑞利判據(jù)要求波前誤差小于λ/4但實際顯微鏡系統(tǒng)通常要求更嚴(yán)格軸上視場最好在λ/10以內(nèi)。在Zemax中可以通過Wavefront Map和RMS Wavefront Error來查看。需要注意的是MTF和波前誤差有時候會出現(xiàn)矛盾。比如一個系統(tǒng)MTF很好但波前誤差較大或者反過來。這時候需要根據(jù)實際應(yīng)用來判斷哪個指標(biāo)更重要。目視觀察時MTF更接近人眼的實際感受干涉測量或者高精度成像時波前誤差更關(guān)鍵。4.3 公差分析與可制造性檢查設(shè)計完成后公差分析是必不可少的一步。顯微鏡系統(tǒng)的公差通常比較緊尤其是高NA物鏡曲率半徑的公差可能在微米級別。在Zemax中公差分析可以通過Tolerance Wizard來設(shè)置。我通常關(guān)注以下幾個公差項公差類型典型值影響曲率半徑±0.01mm影響球差和焦移厚度±0.02mm影響場曲和色差偏心±0.005mm影響軸外像質(zhì)傾斜±0.01度影響對稱性和像散折射率±0.0005影響色差和球差公差分析的結(jié)果會給出一個預(yù)計的良率。如果良率太低需要放寬公差或者修改設(shè)計。我的經(jīng)驗是在設(shè)計階段就考慮到公差的影響不要把像差校正到理論極限留一些余量給制造誤差。4.4 常見優(yōu)化不收斂的排查思路優(yōu)化不收斂是Zemax使用中最常見的問題。根據(jù)我的經(jīng)驗原因通常有以下幾種第一種是評價函數(shù)沖突。比如同時約束MTF和波前誤差而這兩個指標(biāo)在某些情況下是矛盾的。解決方法是減少操作數(shù)只保留最核心的指標(biāo)。第二種是變量范圍過大。比如曲率半徑的變量范圍沒有限制優(yōu)化算法可能會找到一個曲率極大或者極小的解。解決方法是對每個變量設(shè)置合理的上下限。第三種是初始結(jié)構(gòu)太差。如果初始結(jié)構(gòu)的像差已經(jīng)很大優(yōu)化算法很難把它拉到好的狀態(tài)。解決方法是換一個更好的初始結(jié)構(gòu)或者先用球面優(yōu)化再逐步引入非球面。第四種是光線追跡失敗。某些面的曲率或者厚度導(dǎo)致光線無法正常通過優(yōu)化算法就會報錯。解決方法是檢查每個面的光線追跡情況手動調(diào)整有問題的面。5. 從設(shè)計到落地的幾個實操心得5.1 玻璃材料的選擇與替換在Zemax中優(yōu)化時很多人喜歡用模型玻璃Model Glass來增加自由度。模型玻璃可以連續(xù)變化折射率和阿貝數(shù)優(yōu)化算法可以找到理論上最優(yōu)的材料組合。但模型玻璃在實際中是不存在的優(yōu)化完成后需要替換為真實玻璃。替換的方法是使用Hammer Glass或者Glass Substitution功能。Zemax會根據(jù)模型玻璃的折射率和阿貝數(shù)在玻璃庫中找最接近的真實玻璃。替換后需要重新優(yōu)化因為真實玻璃的折射率和模型玻璃有偏差。我的經(jīng)驗是在優(yōu)化的最后階段再替換玻璃不要一開始就用真實玻璃。因為真實玻璃的折射率和阿貝數(shù)是離散的會限制優(yōu)化算法的搜索空間。但替換后一定要重新優(yōu)化否則像質(zhì)會下降。5.2 非球面的使用時機與注意事項非球面可以顯著減少透鏡數(shù)量、改善像質(zhì)但也會增加制造成本。在顯微鏡物鏡中非球面通常用在高NA物鏡的第一面或者最后一面用來校正球差。在Zemax中非球面的系數(shù)需要逐步釋放。不要一上來就把所有系數(shù)都設(shè)為變量否則優(yōu)化算法很容易找到不合理的解。我的做法是先釋放二次項系數(shù)conic優(yōu)化后再釋放四次項、六次項依次進行。非球面的公差比球面更敏感尤其是高次項系數(shù)。在公差分析時需要特別關(guān)注非球面的面形誤差和偏心。如果制造能力有限建議盡量用球面設(shè)計或者只用低次非球面。5.3 顯微鏡系統(tǒng)的裝調(diào)與測試要點設(shè)計完成后裝調(diào)是另一個關(guān)鍵環(huán)節(jié)。顯微鏡系統(tǒng)的裝調(diào)主要包括物鏡和目鏡的同軸度調(diào)整、中間像面的位置調(diào)整、以及浸液物鏡的浸液層厚度控制。同軸度調(diào)整通常用自準(zhǔn)直儀或者激光干涉儀來完成。中間像面的位置可以通過觀察星點像或者刀口陰影來調(diào)整。浸液物鏡的浸液層厚度需要在實際使用中反復(fù)試驗找到最佳值。測試時常用的指標(biāo)包括分辨率板測試、星點測試、以及MTF測試。分辨率板測試最直觀可以直接看到系統(tǒng)的實際分辨率。星點測試可以定性判斷像差類型。MTF測試則需要專門的儀器適合高精度系統(tǒng)。5.4 從Zemax到實際產(chǎn)品的距離Zemax優(yōu)化結(jié)果只是一個理論模型從模型到實際產(chǎn)品還有很長的路要走。除了前面提到的公差分析和玻璃替換還需要考慮鏡筒的機械設(shè)計、透鏡的裝配方式、以及環(huán)境溫度變化的影響。鏡筒材料的熱膨脹系數(shù)需要和透鏡匹配否則溫度變化時會導(dǎo)致透鏡間距變化影響像質(zhì)。透鏡的裝配方式壓圈、膠合、彈性固定也會影響面形和間距。這些因素在Zemax中無法直接模擬但需要在設(shè)計階段就考慮到。我的建議是在設(shè)計完成后和機械工程師充分溝通確保光學(xué)設(shè)計和機械設(shè)計之間的接口是清晰的。特別是透鏡的外徑、厚度、以及鏡筒的內(nèi)徑和臺階尺寸這些參數(shù)必須一致。顯微鏡光學(xué)系統(tǒng)的設(shè)計說到底是一個平衡的藝術(shù)。物鏡和目鏡的像差需要平衡像質(zhì)和公差需要平衡性能和成本需要平衡。Zemax提供了強大的優(yōu)化工具但工具本身不會告訴你哪個平衡點是對的。這需要你對應(yīng)用場景有清晰的理解對制造能力有準(zhǔn)確的判斷。我在實際項目中最深的體會是不要追求理論上的最優(yōu)解而要追求實際可制造、可裝調(diào)、可穩(wěn)定工作的解。一個MTF略低但公差寬松的設(shè)計往往比一個MTF很高但公差極緊的設(shè)計更有價值。