摘要在此示例中針對特定入射角研究了F-theta物鏡的焦點(diǎn)PSF。為了避免因離焦照明導(dǎo)致的焦點(diǎn)偏移而引入的額外計(jì)算量根據(jù)光的主傳播方向來移動(dòng)探測器位置。使用VirtualLab的參數(shù)耦合工具自動(dòng)調(diào)整探測器的位置。建模任務(wù)通過參數(shù)耦合自動(dòng)定位探測器參數(shù)耦合允許用戶通過一個(gè)小腳本“片段”定義所需系統(tǒng)參數(shù)的變化。因此獨(dú)立輸入?yún)?shù)值的任何變化都會(huì)同時(shí)導(dǎo)致從屬(耦合)參數(shù)的變化。在此示例中我們將所需檢測器的橫向位置與主光線的位置重合。參數(shù)耦合過程為了找到探測器的適當(dāng)橫向位置通過應(yīng)用參數(shù)耦合代碼段執(zhí)行附加的光線追跡步驟。可以導(dǎo)入此特定代碼段探測器索引選擇必須在代碼片段的specification選項(xiàng)卡中指定探測器的唯一索引。斜入射現(xiàn)在如果改變平面波光源的傳播方向探測器的位置就會(huì)自動(dòng)調(diào)整。在此示例中15°的角度將導(dǎo)致x方向上26.3mm的偏移。性能評估 - 斜入射軸上離軸照明在離軸照明的情況下探測器的位置也會(huì)自動(dòng)調(diào)整。在此示例中100μm的位移是由參數(shù)耦合自動(dòng)考慮的。性能評估 - 離軸照明VirtualLab Fusion技術(shù)文件信息